熱式氣體質(zhì)量流量計
產(chǎn)品優(yōu)勢：
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無須壓力溫度補償，直接測量氣體質(zhì)量流量，組成簡單，出現(xiàn)故障概率小 ；
量程比高（1000：1左右）；
靈敏度高，尤其適合于大管徑、低流速的流量測量 ；
結構多樣，分插入式、管道式安裝，安裝靈活，裝卸方便，使用簡便 ；
無活動部件，結構堅固，抗振，壓損幾乎沒有；
可應用于高溫場合和腐蝕環(huán)境中。
產(chǎn)品介紹
熱式氣體質(zhì)量流量計是基于熱擴散原理而設計的，具有可測微小流量、穩(wěn)定性和可靠性高、壓力損失極小、量程比高、安裝方便重復性高好等優(yōu)點、廣泛應用于半導體工業(yè)領域中氣體流量的測定
